Кто главный покупатель китайских ионно-имплантационных установок? 

Вопрос, казалось бы, простой, но ответ на него постоянно ускользает. Многие сразу скажут — конечно, производители чипов, крупные фабы. Это логично, но это лишь верхушка айсберга, и часто как раз с ними у китайских поставщиков получается не так гладко. На самом деле, картина куда мозаичнее и интереснее.

Ожидание и реальность: почему не все так просто

Когда мы только начинали продвигать оборудование, логика была железной: ионная имплантация — ключевой этап в производстве полупроводников. Значит, целевая аудитория — это полупроводниковые заводы. Мы ориентировались на параметры, сравнимые с Applied Materials или Axcelis, пытались зайти в крупные проекты. И тут же упирались в стену из сертификаций, десятилетий наработанных связей и, откровенно говоря, предубеждения. Крупный фаб в Китае или даже в России, который делает процессоры, скорее купит поддержанную установку у ключевого игрока, чем рискнет на новую китайскую, какой бы привлекательной по цене она ни была. Для них риск остановки линии — это миллионы долларов убытков. Наш китайский ионный имплантер мог быть технически хорош, но не хватало истории надежности, того самого track record.

Именно здесь мы и наткнулись на первый слой реальных покупателей. Это не те гиганты, о которых пишут в новостях. Это исследовательские институты и университетские лаборатории. Для них цена — критический фактор, а требования к абсолютной, военной надежности и производительности в тысячу пластин в час — не столь важны. Им нужна установка для экспериментов, для отработки процессов, для подготовки кадров. И вот здесь китайские машины, особенно серии среднего и низкого энергетического диапазона, нашли свою нишу. Они могут имплантировать бор, фосфор, мышьяк, их можно настроить под специфические исследовательские задачи. Мы поставили несколько таких машин в технопарки при университетах — и это была стабильная, хоть и не огромная, статья дохода.

Еще один неочевидный сегмент — это производители силовой электроники и СВЧ-приборов. IGBT, MOSFET, GaN-транзисторы. Здесь техпроцессы зачастую не такие тонкие, как в кремниевой логике, требования к дозировке и равномерности другие. И что важно — объемы производства могут быть меньше, а номенклатура изделий — шире. Гнаться за имплантером за 10 миллионов долларов для них нецелесообразно. А китайская установка за 1.5-2 миллиона, которая хорошо справляется с глубокой имплантацией, например, для формирования изолирующих областей, — это то, что нужно. Мы работали с одним заводом под Нижним Новгородом, который как раз делал силовые ключи. Их главным критерием была не нанометровая точность, а стабильность пучка и ремонтопригодность. И они купили.

География спроса: не только внутри Китая

Принято думать, что основное потребление китайского оборудования — внутри страны. Это верно лишь отчасти. Да, программа импортозамещения и господдержка создали гигантский внутренний рынок. Но китайские производители оборудования тоже хотят роста и выходят вовне. Куда? Первое направление — это другие страны Азии с развивающейся микроэлектроникой: Малайзия, Вьетнам, отчасти Индия. Второе, и для нас особенно интересное, — это страны СНГ и Восточной Европы.

Здесь спрос формируется не гигантскими фабами, а как раз теми самыми нишевыми производствами и НИИ, о которых я говорил. Бюджеты ограничены, западное оборудование дорого и санкционно-рискованно, а необходимость в технологии есть. Китай становится компромиссным вариантом. Я видел, как ионно-имплантационная установка из Шанхая или Пекина работала в Минске на заводе по производству датчиков. Не самое современное поколение, 6-дюймовые пластины, но свою задачу — создание p-n переходов — выполняла исправно годами.

Ключевую роль здесь играют не сами заводы-изготовители, а локальные инжиниринговые компании и интеграторы. Они берут на себя шлифовку оборудования под местные стандарты, установку, пусконаладку и, самое главное, сервис. Без такого локального партнера продать сложное оборудование почти невозможно. Покупатель боится остаться один на один с вышедшей из строя вакуумной системой или сбоящим источником ионов.

Кейс: интеграция через локального партнера

Можно привести в пример наш опыт работы с ООО Далянь Синьцзиян Индустрия. Это не производитель имплантеров, но это серьезный индустриальный игрок с мощной производственной базой — те самые 8000 м2 площадей, цеха с постоянной температурой, парк станков с ЧПУ. Они выступали нашим партнером в одном проекте по оснащению исследовательского центра. Мы поставляли сердце — сам имплантер, а они делали периферию: кассетные погрузчики, интерфейсы для транспортировки пластин, адаптировали систему подводки хладагента и электрики под местные нормы. Их сайт xinjiyangongye.ru хорошо отражает их компетенции — это солидное промышленное предприятие, а не торговая контора. Для заказчика это было ключевым доводом: он видел, что кроме железа из Китая, есть локальная инженерная поддержка, которая может физически что-то доработать, починить или заменить. Это снимало 70% страхов.

Эволюция покупателя: от дешевого аналога к оптимальному решению

Раньше главным и часто единственным аргументом была цена. Купите наш имплантер, он как американский, но в три раза дешевле. Это работало только на самых непритязательных рынках и часто приводило к проблемам — экономили на всем, включая качество компонентов. Репутация страдала.

Сейчас ситуация меняется. Ведущие китайские производители (вроде CETC, Kingstone) уже не гонятся за слепым копированием. Они развивают свои линейки, делают упор на определенные применения. И покупатель стал умнее. Он уже не спрашивает: Это копия Varian?. Он спрашивает: Какая реальная однородность имплантации на пластине диаметром 150 мм для энергии 80 кэВ? Какова скорость производства при дозе 1e15 ионов/см2? Какие источники ионов вы предлагаете для имплантации редкоземельных элементов?.

Это значит, что главный покупатель сегодня — это технически грамотный заказчик с конкретной, иногда узкой задачей. Ему нужно не вообще имплантировать, а, например, создавать глубокие изолирующие слои для кремниевых фотодетекторов. И он ищет установку, оптимально подходящую для этой задачи по цене и характеристикам. Он готов рассматривать китайский вариант, но будет дотошно сравнивать спецификации, запрашивать отчеты о тестах, возможно, приедет на завод-изготовитель. Продажа превращается в техническую дискуссию, а не в торг.

Проблемы, которые не афишируют в брошюрах

Работая с этим оборудованием, сталкиваешься с рядом нюансов, о которых умалчивают в каталогах. Во-первых, мягкая часть. Программное обеспечение для управления. Часто оно переведено на английский (а то и на русский) криво, интерфейс может быть нелогичным. Для инженера, привыкшего к IntelliFab, это может быть шоком. Приходится либо долго адаптироваться, либо заказывать дорогостоящую кастомизацию.

Во-вторых, расходные материалы и запчасти. Масс-анализатор, нить накала источника, вакуумные насосы. Гарантия, что они будут в наличии на складе у поставщика через 3 года? Не всегда. Иногда приходится искать альтернативных поставщиков или даже изготавливать самим. Тот же партнер, ООО Далянь Синьцзиян Индустрия, со своими цехами механической обработки, как раз мог закрывать такие вопросы — выточить держатель, изготовить простую деталь. Это бесценно.

В-третьих, калибровка и метрология. Доставить установку — полдела. Доказать, что она имплантирует именно ту дозу, которую показывает на экране, — это отдельная история. Нужны эталонные пластины, измерения методом Ван-дер-Пау, SIMS-анализ. Без налаженной связи с местной метрологической лабораторией или аналитическим центром можно получить огромное расхождение между ожидаемым и реальным результатом. Мы начинали один проект в Казани, так там первую же партию пластин пришлось везти на анализ в Москву, чтобы удостовериться в параметрах имплантации. Бюджет на это изначально не закладывали.

Итак, кто же он, главный покупатель?

Портрет получается составной. Это не один тип, а несколько. 1) Научно-исследовательские организации, для которых цена и гибкость важнее супер-производительности. 2) Производители специализированной силовой, СВЧ и оптоэлектроники, работающие на нишевых рынках. 3) Промышленные предприятия в странах, где нет доступа или средств на топовое западное оборудование, но есть потребность в базовой имплантационной технологии для собственных продуктов.

Объединяет их всех одно: они ищут не дешевую игрушку, а адекватный, работоспособный инструмент для решения своей конкретной производственной или исследовательской задачи. Они готовы мириться с некоторыми сложностями в обмен на контроль над бюджетом и технологическую независимость от глобальных гигантов. И они все чаще находят то, что ищут, среди предложений китайских производителей, особенно когда за этим предложением стоит не просто продавец, а грамотный инжиниринговый альянс, способный довести оборудование до ума на месте. Именно в таком симбиозе — китайское железо и локальная инженерная экспертиза — и кроется, на мой взгляд, настоящее настоящее и будущее этого рынка.