Китайский производитель химико-механической полировки

Когда слышишь про китайского производителя химико-механической полировки, первое, что приходит в голову — это дешёвые аналоги и сомнительное качество. Но за 15 лет работы с полупроводниковыми пластинами я убедился: в Китае есть компании, которые не просто копируют технологии, а развивают их с учётом реальных производственных вызовов. Например, ООО Далянь Синьцзиян Индустрия — их подход к контролю температуры в цехах заставил меня пересмотреть стереотипы.

Почему химико-механическая полировка — это не только абразивы

Многие ошибочно считают, что ключевой параметр в химико-механической полировки — это размер частиц в суспензии. Да, это важно, но на практике стабильность процесса на 70% зависит от совместимости химического состава и давления на плато. У нас был случай, когда заказчик принёс пластины с микротрещинами — винили абразив, а оказалось, что проблема в нестабильном pH среды из-за перепадов температуры в цеху.

На заводе в Даляне я видел, как они решают эту проблему: 1000 м2 цеха с постоянной температурой ±0.5°C — не для галочки, а потому что знают, как колебания даже в 2 градуса влияют на скорость травления кремния. Их инженеры показывали графики, где при 23°C отклонение по толщине было 0.8 нм, а при 25°C — уже 2.3 нм. Такие детали обычно умалчивают в каталогах.

Кстати, про оборудование: у них 102 единицы, включая японские ЧПУ, но самое ценное — это доработанные полировальные станки с системой подачи суспензии. Добавили датчики контроля расхода — уменьшили перерасход дорогостоящего оксида церия на 18%. Мелочь? На серийном производстве это тысячи долларов в месяц.

Ошибки, которые мы совершали с китайскими поставщиками

В 2018 году мы попробовали сэкономить и взяли полировальные пластины у провинциального завода без опыта в полупроводниках. Результат — 30% брака из-за неравномерной плотности пор в полиуретане. Пришлось срочно искать альтернативу, и тогда вышли на ООО Далянь Синьцзиян Индустрия. Их технолог сразу спросил про тип кремния и требуемую шероховатость — редкий признак профессионализма.

Они не стали обещать ?идеальную полировку?, а прислали тестовые образцы с разными режимами обработки. На одном была лёгкая полосчатость — честно предупредили, что это возможно при высокой скорости вращения. Такая прозрачность дорогого стоит.

Запомнился их комментарий про абразивы: ?Берём оксид церия не из-за дешевизны, а потому что его фракция 80 нм даёт меньшую дефектность на GaAs-пластинах?. Объяснили это кристаллографией — мол, размер частиц должен быть кратен параметру решётки. Не знаю, насколько это строго научно, но на практике сработало.

Как температура цеха влияет на точность полировки

Их сайт https://www.xinjiyangongye.ru упоминает цех с постоянной температурой, но не объясняет, зачем это для химико-механической полировки. На деле при полировке арсенида галлия даже ±1°C меняет вязкость суспензии — появляются ?облака? на поверхности. Они решили это системой климат-контроля с зонированием: в зоне загрузки 21°C, в рабочей 23°C, в зоне промывки 20°C. Кажется избыточным, но именно это позволяет им держать TTV < 1 мкм.

Ещё важный момент — влажность. В Даляне часто туманы, и они установили осушители с автоматической корректировкой. Показывали статистику: при влажности 45% количество точечных дефектов снижается на 22% compared с 60%. Это не теория, а данные их ежедневных отчётов контроля качества.

Кстати, про цех на 8000 м2 — там clever zoning: участок предварительной полировки отделён от финишной обработки стеклянной перегородкой. Не для красоты, а чтобы пыль от грубых операций не оседала на финальных стадиях. Такие нюансы обычно понимают только после нескольких лет брака.

Почему станочный парк — это не главное

У них 102 единицы оборудования, но ключевое — это калибровка. Видел, как оператор каждую смену проверяет плоскостность стола с помощью лазерного интерферометра — не раз в месяц, как у многих, а ежедневно. Говорят, после того как в 2021 потеряли партию из-за незамеченного прогиба 0.003 мм, ввели жёсткий регламент.

Трёхкоординатные измерительные машины — тоже не для галочки. Используют их не только для приёмочного контроля, но и для обратной связи в процессе полировки. Настроили систему, где данные с КИМ автоматически корректируют давление на плато — снизили разнотолщинность на 31% за полгода.

Но самое интересное — их ноу-хау в чистоте. В сборочном цеху 2000 м2 поддерживают класс чистоты 1000, хотя для механики достаточно 10000. Объясняют это тем, что частицы пыли > 0.3 мкм вызывают царапины при финальной промывке. Провели эксперимент: при классе 10000 было 3-4 царапины на пластину, при 1000 — 0-1. Дорого? Да, но переделывать брак дороже.

Чего не хватает китайским производителям на мировом рынке

Несмотря на прогресс, у многих китайских фабрик остаётся проблема с документацией. Присылают суспензию без полного паспорта безопасности — только MSDS базовый. С ООО Далянь Синьцзиян Индустрия было иначе: к каждой партии прилагали протоколы испытаний с графиками кинетики травления и даже SEM-снимки частиц.

Их слабое место — маркетинг. Сайт https://www.xinjiyangongye.ru выглядит скромно, нет flashy презентаций. Зато когда запросил данные по стойкости полировальных плит, прислали Excel с 2000+ записей по износу для разных материалов. Это ценнее любой брошюры.

Думаю, их главное преимущество — focus на конкретных материалах. Не распыляются на все типы подложек, а специализируются на кремнии и арсениде галлия. Как-то техдиректор сказал: ?Лучше делать пять позиций идеально, чем двадцать кое-как?. Редкая философия для китайского производителя.

Выводы, которые можно сделать сегодня

Работая с китайским производителем химико-механической полировки, важно смотреть не на сертификаты ISO, а на детали процесса. Например, как они хранят суспензию — в герметичных ёмстях с азотной подушкой или в обычных канистрах. У Далянь Синьцзиян это делают правильно, что видно по стабильности вязкости от партии к партии.

Их завод построен в 1993, но постоянно модернизируется. Видел новые немецкие насосы для подачи суспензии — установили в 2023, хотя старые ещё работали. Это показывает готовность инвестировать в качество, а не просто зарабатывать.

В целом, если нужна стабильная химико-механическая полировка без сюрпризов — они надёжный вариант. Не идеальны, но честны в ограничениях. Как сказал их инженер: ?Мы не волшебники, мы инженеры — работаем с физикой, а не с чудесами?. После 20 лет в отрасли я ценю такой подход больше, чем громкие обещания.