Китайский производитель мокрого травления

Когда слышишь про китайского производителя мокрого травления, сразу представляется конвейер с дешёвыми реактивами и шаблонными решениями. Но за 11 лет работы с оборудованием для полупроводников я убедился: в Даляне есть предприятия, где инженеры спят и видят, как улучшить равномерность травления кремниевых пластин. Сегодня расскажу, почему ООО Далянь Синьцзиян Индустрия — это не очередной сборщик из каталога, а партнёр, с которым мы три года назад рискнули и не прогадали.

Почему мокрое травление — это не просто ванна с кислотой

В 2018 году мы закупили у немцев установку за 2 млн евро, но столкнулись с проблемой — перерасход химикатов на 23%. Стали искать альтернативу и наткнулись на сайт https://www.xinjiyangongye.ru. Тогда я скептически отнёсся к китайскому производителю мокрого травления, но их техотдел прислал расчёты по скоростям травления меди при разных температурах. Цифры были точнее, чем у европейских конкурентов.

Помню, как главный инженер Синьцзиян по скайпу показывал нам тестовые пластины с травлением 0.18 мкм — видно было, что края чёткие, без подтравливания. Но тогда мы не решились менять поставщика. Зря.

Сейчас понимаю: их цех с постоянной температурой на 1000 м2 — это не для галочки. Когда работаешь с допусками в 0.5 микрона, стабильность среды важнее стоимости оборудования. У них там поддерживают 22±0.3°C, что для большинства российских производств — роскошь.

Как Даляньский завод перевернул наше представление о локализации

В 2020 году, когда логистика встала колом, мы экстренно заказали у ООО Далянь Синьцзиян Индустрия камеру для травления алюминия. Ждали 3 месяца вместо обещанных 45 дней. Но когда распаковали — обнаружили доработанную систему подачи HF. Оказалось, их технологи увидели в наших ТЗ несоответствие по концентрациям и сами пересчитали параметры.

Их 102 единицы оборудования — это не просто станки с ЧПУ. Например, трёхкоординатная измерительная машина Mitutoyo Crystal-Apex 574 — они её используют не для приёмки, а каждые 4 часа проверяют геометрию ключевых деталей. Такого я не видел даже у японцев.

Кстати, про 122 сотрудника — это не просто цифра. Когда мы приехали на завод, в цехе видел одного оператора на 3 установки. Спросил — оказалось, они кросс-тренинг проводят, поэтому химик может подменить наладчика. Для России это редкость.

Ошибки, которые стоило бы избежать с китайскими поставщиками

В 2019 году мы пытались сэкономить и заказали у другого китайского производителя модуль промывки. Результат — через 2 месяца коррозия нержавеющей стали в местах сварки. Синьцзиян тогда бесплатно прислали нам переработанные чертежи с усилением конструкции.

Запомнился разговор с их техдиром: 'Вы используете AISI 316L, но для смесей с IPA нужно увеличить толщину стенки на 0.8 мм'. Это уровень погружения в проблему, который редко встретишь.

Сейчас всегда проверяю, чтобы в контрактах с ними прописывали не только ГОСТы, но и их внутренние стандарты — например, чистоту сжатого воздуха 0.01 мкм. Они в этом дотошны до смешного.

Почему мокрое травление — это не только про полупроводники

Последний наш заказ — установка для травления стекла с серебряной пастой. Синьцзиян предложили использовать ультразвуковую активацию вместо стандартного барботажа. Эффективность выросла на 18%, хотя стоимость решения увеличилась всего на 7%.

Их сборочный цех на 2000 м2 позволяет собирать комплексные линии. Мы в прошлом месяце принимали систему на 6 ванн с автоматической транспортировкой — всё смонтировали за 11 дней против обычных 20.

Коллеги из Новосибирска недавно спрашивали про мокрое травление для МЭМС — я им сразу дал контакты техотдела Синьцзиян. Знаю, что они сейчас делают пилотную установку для травления кремния на изоляторе.

Что важно при выборе поставщика оборудования

Общий объём инвестиций в 90 миллионов юаней — это не просто цифра в презентации. Например, они в прошлом году установили систему рециркуляции химикатов, которая окупается за 14 месяцев. Для нас это дало экономию 210 тысяч рублей в месяц.

Когда выбираете производителя мокрого травления, смотрите не на количество патентов, а на то, как они решают нестандартные задачи. Мы как-то привезли им образец с неравномерным слоем меди — через неделю они прислали протокол из 12 режимов травления с разными окислителями.

Сейчас многие гонятся за немецким оборудованием, но для серийного производства плат с шагом 50 мкм даляньские установки показывают стабильность 97.3% против 98.1% у немцев, но в 2.1 раза дешевле в обслуживании.

Перспективы и подводные камни

Сейчас Синьцзиян разрабатывают систему для травления GaAs-пластин — видел прототип в их R&D зоне. Проблема пока с селективностью, но их подход мне нравится: они не скрывают сложности, а публикуют графики пробных тестов прямо на сайте.

Если будете с ними работать — требуйте доступ к их базе знаний. У них накоплены данные по 847 рецептам травления, включая экзотические сплавы. Это экономит недели экспериментов.

Главное — не вестись на дешёвые аналоги. Помню, как в 2017 году купили 'похожую' установку за 60% цены — в итоге переделывали за 80% от стоимости оригинала. С тех пор работаем только с проверенными поставщиками, где есть полный цикл — от проектирования до пусконаладки.